Die meisten »Euthanasie«-Prozesse fanden in den ersten Jahren nach Kriegsende statt. Von 1945 bis 1947 sprachen vor allem alliierte Gerichte Todesurteile wegen Mordes aus. Die Pfleger Karl Willig und Heinrich Ruoff (1887–1946) sowie der Verwaltungsleiter Alfons Klein (1909–1946) aus Hadamar, die Pflegerin Helene Wieczorek (1904–1947) und die Ärztin Hilde Wernicke (1899–1947) aus Meseritz-Obrawalde sowie der medizinische Leiter der T4 Paul Hermann Nitsche und Karl Erhard Gäbler (1888–1948), Pfleger in der Tötungsanstalt Pirna-Sonnenstein, wurden hingerichtet. Karl Brandt und Viktor Brack, Hauptverantwortliche der »Euthanasie«-Morde, verurteilten die Richter im Nürnberger Ärzteprozess 1947 ebenfalls zum Tode.

Nach 1949 kam es seltener zu Strafverfahren, deren Urteile deutlich milder ausfielen. Sahen die Gerichte vorher den Tatbestand des Mordes als erfüllt an, so gingen sie später nur von Beihilfe zum Mord oder Totschlag aus. Sie gestanden den Tätern zu, unwissend über die Rechtswidrigkeit ihrer Taten gewesen zu sein. Die »Vernichtung lebensunwerten Lebens« sahen die Richter nicht als grundsätzlich »unmoralisch« an – daher kam es auch gegen Haupttäter wie Werner Catel 1949 nicht zu einer Verhandlung.

Weitere Verfahren in den 1960er Jahren – maßgeblich angetrieben durch den Frankfurter Generalstaatsanwalt Fritz Bauer – führten meist zu keiner Verurteilung. T4-Tätern wie Georg Renno bescheinigten Gutachter Verhandlungsunfähigkeit.